Mu caru cakusuzga ca kupanga vinthu vya semiconductor, umo kugwiliskira nchito vinthu kukucitikira pa mlingo wa atomu, kuŵika ion mu thupi kukuyimilira nga ni luso lwa pakona. Nthowa iyi, iyo yikuponya makora silicon wafers na dopant ions kuti yiŵe yakunozga katundu wawo wa magesi, yikuthemba pa fundo yakuzirwa comene: kupanga mtengo wa ion wakutowa, wakukhazikika. Pa mtima wa ion source- injini ya dongosolo lakusuzga ili - pali chigaŵa icho chikupangiska kuti munthu waŵe wakukhora mu nyengo zakofya chomene: filament ya tungsten.
Waya wakujiyuyura uwu wakuzungulirika, nadi, ni chinthu chakuziziswa chomene pa sayansi ya vinthu vyakuthupi. Malo ghakuŵikamo ion ghakuwukira chomene: ghakusazgako kutentha kwakotcha, makemikolo ghakuvunda kufuma ku mpweya nga ni BF3 panji PH3, na kuponya mabomba nyengo zose. Filamenti iyi, iyo kanandi yikugwira ntchito nga ni cathode, yikwenera kutenthemeska mpaka kufika pa incandescence kuti yifumyemo ma electron agho ghakukhumbikwa kuti plasma yiŵe na moto na kusunga vinthu. Kutondeka pano kukupangiska kuti mtengo uleke kukhazikika, kufipiskika kwa visulo, ndiposo nyengo yakudura yakupangira vinthu.
Chifukwa wuli tungsten wakulamulira chomene pa mulimo uwu? Zgoro lili mu katundu wake wambura kulinganizgika:
Kulimbana na Kutentha Kwakuthukira: Pakuti vitsulo vyose vikusungunuka chomene (3422℃), chingwe cha tungsten chikulutilira kuŵa chakukhora apo vinyake vingatondeka.
Kulimbana na Sputter Kwapachanya: Kulimbana na kusefukira kwa mabomba gha plasma, kukhozgera umoyo utali na mizere ya ion yakutowa.
Kufumiska kwa Electron Kwapachanya: Katundu wake wa thermionic ngwakwenelera chomene pakupanga magesi ghambura kusintha agho ghakukhumbikwa kuti plasma yiŵe yakukhazikika, chomenechomene mu magwero gha Indirectly Heated Cathode (IHC).
Ivyo vikukhumbikwa ku vipangizo vya mtundu wakulondezgapo, kusazgapo vya vipangizo vya silicon carbide (SiC) na gallium nitride (GaN), vikukankhira luso la kuŵika vinthu mu thupi. Ici cikupangiska kuti paŵe kukhumbikwa kwa vigaŵa vyakugomezgeka comene, vyakugwira nchito makora. Filamenti ya tungsten yasintha kufuma ku waya wambura kusuzga kufika ku chinthu chakupangika mwakukwana, na kuluta panthazi mu kulaŵilira kapangikiro ka tirigu na kuŵikamo (mwachiyelezgero, na ma oxides ghambura kumanyikwa gha pa charu chapasi) kukhozga kukhalilira kwake na kufumiska mphepo.
Kusanga vigaŵa ivi vyakuzirwa vya mulimo - kukukhumba mnyako uyo wali na luso lwakukhora lwa vitsulo ndiposo wakujipeleka kuchita vinthu mwakukwana. Kwa vyaka makumi ghaŵiri, Zhuzhou Kingdon Industrial & Commercial Co., Ltd (W / Mo Kufuma mu 2004) waŵa zina lakugomezgeka mu vitsulo vyakukhozga vyapachanya. Kusambizga vinthu vya tungsten na molybdenum, Kingdon wakupereka vinthu vyakutowa chomene, vyakupangika nyengo zose ivyo vikukhumbikwa chomene pa ntchito zakukhumbikwa nga ni kuŵika ion.
Kwa ŵantchito ŵa injiniya na ŵasambizgi ŵa kugura vinthu awo ŵakukhumba vigaŵa vyakugomezgeka vya ion source, kusazgapo vingwe vya tungsten vyakugwira ntchito makora, Zhuzhou Kingdon wakupereka umanyi wakukhozgeka na kupanga vinthu makora.
Zhuzhou Kingdon Mafakitale na Malonda Co., Ltd (W / Mo Kufuma mu 2004)
Sazgilanipo: Msewu wa nambara 9 wa Zhongda, malo ghakupanga vinthu ghapachanya, Zhuzhou, Hunan, China
Foni: +86-731 28470377 / 22868227
Fakisi: +86-731 28410491
Webusaiti:www.kdmet.com
